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1、系统采用单室筒式结构，手动前开门；
2、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造（304），氩弧焊接，表面采用喷玻璃丸+电化学抛光钝化处理配有可视观察窗口，并带挡板，真空室尺寸为Φ300mm×300mm；
3、极限真空度：8.0x10-5 Pa
(经烘烤除气后，采用600L/S分子泵抽气，前级采用4L/S)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；
系统从大气开始抽气到8.0x10-4 Pa，40分钟可达到； 停泵关机12小时后真空度：≤20 Pa；
4、采用样品在下，喷淋头在上的电容式耦合方式进气；
5、样品最高加热温度：500℃，温控精度：±1°C，采用温控表进行控温；
6、喷淋头尺寸：Φ90mm，喷淋头与样品之间电极间距15-50mm在线连续可调（可根据工艺调整），并带有标尺指数显示；
7.、沉积工作真空：13.3-133Pa（可根据工艺调整）；
8、射频电源：频率 13.56MHz，最大功率300W全自动匹配；
9、气体种类（用户自备），标准配置为2路100sccm质量控制器，用户可根据工艺更改气路配置
化学气相沉积
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https://www.chem17.com/st5171/product_36564451.html
