安装前需做好准备工作，在无尘洁净环境清点离子源本体、抑制极、拉出极、密封配件等，检查外观无破损、污染。用无水乙醇无尘棉签单向擦拭电极与光阑组件，清除杂质油污，同时检查设备腔体真空密封性，提前做好除尘清洁。
随后进行核心装配，对准设备卡槽固定离子源基座，依次精准安装抑制极与拉出极，对齐中心光路，轻拧固定螺丝，力度均匀适中，避免过紧形变或松动偏移。按规范装配垫圈与紧固件，保证部件贴合紧密、对位精准，防止光路偏移。
装配完成后封闭腔体，启动设备进行多级真空抽气，待腔体高真空度达标后开展低温预热，缓慢升温使镓体液化，依靠毛细作用均匀浸润钨针尖。
最后进行参数调试与验收，逐步加载电压，微调电极间距与光路参数，校准发射束流，确保电流稳定、束斑均匀无偏移。全程记录参数，确认离子源无异常放电、束流波动问题，完成安装作业。整套流程需严谨细致，规避污染、错位问题，保障离子源长期稳定工作。
液态镓离子源
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